金配線上のクラックを金ナノ粒子(半径20 nm)により自己修復した様子

2015年2月19日

亀裂を自己修復する金属配線 金属ナノ粒子の電界トラップを用いて実現へ

2015-02-19

早稲田大学広報室広報課

亀裂を自己修復する金属配線 金属ナノ粒子の電界トラップを用いて実現へ

早稲田大学理工学術院の岩瀬英治(いわせえいじ)准教授(基幹理工学部機械科学・航空学科)、大学院基幹理工学研究科修士1年の古志知也(こしともや)氏は、金属ナノ粒子の電界トラップを用いることで、配線上に一度クラック(亀裂)が生じた場合でも電圧印加によりクラックを自己修復する金属配線を実現しました。

本研究の成果は、フレキシブルデバイスに用いる伸縮配線や、環境の温度変化により疲労を受ける電子基板上の金属配線などに自己修復機能を付与することが社会的に期待されます。

本研究の内容は、ポルトガル エストリルで2015年1月18日~22日に開催された国際学会MEMS2015(The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)で発表されました。本発表は、日本の大学・機関の発表としては唯一Outstanding Oral Paper Award Finalistsに選ばれるなど(学会全体でも選ばれたのは11件のみ)、本国際学会において高い関心を集めました。

本リリースの詳細 http://www.waseda.jp/top/news/22187